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一种聚氨酯组合物及由其制造的化学机械 抛光垫窗口
发布时间:2026-03-12 浏览:53 次
申请公布号:CN 116218200 B
申请公布日:2026.02.06
发 明 人:刘振东 王凯 罗建勋 梅英杰 高彦升
申 请 人:万华化学集团电子材料有限公司
地 址:山东省烟台市经济技术开发 区北京中路50号
摘 要:本发明涉及一种聚氨酯组合物,至少包含14 .0‑20 .0wt%的甲苯二异氰酸酯、20 .0‑38.0wt%的二环己基甲烷二异氰酯、39.0‑57 .0wt%的聚四亚甲基醚二醇和3 .0‑9 .0wt%小分子二元醇的聚氨酯预聚物组分A;和由芳香族二胺类和聚氧化乙烯二元醇形成的固化剂组分B;和聚硅氧烷类微球组分C。本发明的聚氨酯组合物经由固化工序得到窗口材料,进一步制造形成具有整体窗的抛光层。本发明制成的化学机械抛光垫窗口在表面呈现一定粗糙程度(Ra≤10 μ m)的情况下,仍具有较高的光透过性;且其硬度和动态机械性等物性可以容易地被调整,提供了与抛光垫更高的匹配性。

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